氧化亞硅氣相收集爐,硅負極氣相收集爐,一氧化硅氣相收集爐為臥式中開門高真空感應爐,高溫區加熱...
,低溫區氣相沉積收集,應用于氧化亞硅等材料的高溫制備及收集。
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